Методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий

Достанко, А. П.; Томаль, В. С.; Касинский, Н. К.; Иванов, И. А.

Методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий

Достанко, А. П., Томаль, В. С., Касинский, Н. К., Иванов, И. А.

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:56:27Z

Аннотация:

Представлена методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий. Исследовано влияние нагрева оптических деталей на воспроизводимость оптической толщины многослойных узкополосных фильтров второго порядка на основе окислов циркония и кремния, получаемых на вакуумных установках моделей ВУ-800, ВУ-2М и ВУ-1А. Предложено для более точной количественной оценки воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий, кроме величины относительного стандартного отклонения, экспериментально определять величину доверительной вероятности.

Ключевые слова:
Покрытия - толщина - измерение, Покрытия - толщина - средства измерений, Вакуумные покрытия, Оптические детали - контроль параметров

Тип: Статья (Article)

Методика расчета воспроизводимости оптической толщины вакуумных покрытий

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация