Поведение примеси кремния в процессе плазменного легирования алюминия бором
Churilov, Grigory N.,
Nikolaev, Nikita S.,
Vnukova, Natalia G.,
Glushenko, Gariy A.,
Lopatin, Vladislav A.,
Elesina, Victoria I.,
Isakova, Victoria G.,
Loktev, Andrey N.,
Чурилов, Григорий Н.,
Николаев, Никита С.,
Внукова, Наталья Г.,
Глущенко, Гарий А.,
Лопатин, Владислав А.,
Елесина, Виктория И.,
Исакова, Виктория Г.,
Локтев, Андрей Н.
Связанные документы (рекомендация CORE)