Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:58:25Z

Аннотация:

Установлено влияние пористости подложки из анодного оксида алюминия на основные параметры 4-сенсорной газовой микросистемы. В расчетах использованы зависимости компонентов тензоров модуля упругости и теплопроводности от пористости для α-Al2O3, полученные методом конечных элементов. (E-mail: viacheslav.khatko@gmail.com)

Тип: Статья (Article)