Проанализированы факторы воспроизводимости свойств оптических вакуумных покрытий, оценено их влияние на оптическую толщину покрытия. Установлена зависимость воспроизводимости при нанесении покрытий на ненагретые и нагретые детали, а также от положения детали на приемной поверхности.