Influence of the angle of inclination of the plasma flow of carbon to the substrate on the electrical capacitance and morphology of the surface of carbon coatings - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
801 982

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Influence of the angle of inclination of the plasma flow of carbon to the substrate on the electrical capacitance and morphology of the surface of carbon coatings

Sudzhanskaya, I. V., Poplavsky, А. I., Goncharov, I. Y., Glukhov, O. V.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:25:53Z

Аннотация:

Ключевые слова:
equipment, technology, chemical engineering, nanotechnology, carbon films, electrical capacity, conductivity, morphology surface

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)