САМОФОРМИРОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССАХ РАСПЫЛЕНИЯ И ПЕРЕОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛЛОВ В ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА

Амиров  И.И.; Изюмов  М.О.; Мазалецкий  Л.А.

САМОФОРМИРОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССАХ РАСПЫЛЕНИЯ И ПЕРЕОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛЛОВ В ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА

Амиров И.И., Изюмов М.О., Мазалецкий Л.А.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:12:00Z

Аннотация:

Представлены результаты исследования самоформирования наноструктур на поверхности Si в процессах распыления пленки Co и переосаждения атомов Ti, распыляемых с поверхности Ti подложки в плотной аргоновой плазме ВЧ индукционного разряда.

Ключевые слова:
-, -

Тип: article

САМОФОРМИРОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССАХ РАСПЫЛЕНИЯ И ПЕРЕОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛЛОВ В ПЛАЗМЕ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация