ВЧ ИНДУКЦИОННЫЙ РАЗРЯД В ПРОЦЕССАХ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ

Голяева  А.Ю.; Товстопят  А.В.; Галеев  В.А.; Гафаров  И.Г.; Шарифулин  Ф.С.

ВЧ ИНДУКЦИОННЫЙ РАЗРЯД В ПРОЦЕССАХ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ

Голяева А.Ю., Товстопят А.В., Галеев В.А., Гафаров И.Г., Шарифулин Ф.С.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:12:00Z

Аннотация:

Представлена информация о результатах исследования обработки поверхности диэлектриков в ВЧ индукционном разряде на частоте 13,56 МГц при давлениях 13,3 - 66,5 Па.

Ключевые слова:
-, -

Тип: article

ВЧ ИНДУКЦИОННЫЙ РАЗРЯД В ПРОЦЕССАХ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация