Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:12:05Z

Аннотация:

Было проведено комплексное экспериментально-теоретическое исследование емкостной плазмы на частоте 81 МГц в смесях Ar/CF4/CHF3 при давлениях 50 мТорр и 150 мТорр. Широкий набор экспериментальных диагностик вместе с одномерной гибридной Монте-Карло моделью на основе метода частиц в ячейках (PIC MC) были применены для исследования плазмы. Такой подход позволил определить сложный химический состав активных частиц в плазме, а также определить потоки ВУФ фотонов.

Тип: article