Представлены экспериментальные данные о газообразных продуктах взаимодействия плазмы пониженного давления в аргоне с полиарамидом и полиэтилентерефталатом. Получены спектры излучения плазмы и ее электрофизические параметры при различной площади обрабатываемого материала в реакторе. На основе экспериментальных данных выполнено численное моделирование процессов генерации активных частиц плазмы с учетом продуктов гетерогенных реакций, рассчитаны потоки активных частиц на поверхность обрабатываемых материалов.