Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа

Шемахин Александр Юрьевич, Худайбергенов Гамзат Жапарович, Желтухин Виктор Семенович

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:14:46Z

Ключевые слова:
аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния, плазменные струи, математическое моделирование, статистическое моделирование

Тип: Article

Права: open access

Связанные документы (рекомендация CORE)