Материалов:
1 081 645

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа

Шемахин Александр Юрьевич, Худайбергенов Гамзат Жапарович, Желтухин Виктор Семенович

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:14:46Z

Ключевые слова:
аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния, плазменные струи, математическое моделирование, статистическое моделирование

Тип: Article

Права: open access

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core