Аномальный тлеющий разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях в процессах нанесения оптических покрытый: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.02.05 - Механика жидкости, газа и плазмы
Связанные документы (рекомендация CORE)