Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа "Физика наноструктур и наносистем": [в 3-х ч.]. Ч. 3

Удовиченко С. Ю., Тюменский государственный университет

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:26:26Z

Ключевые слова:
физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Тип: Electronic

Источник: RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2FВ3я73$2FУ313$2D356196

Другие версии документа

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа "Физика наноструктур и наносистем": [в 3-х ч.]. Ч. 3Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа "Физика наноструктур и наносистем": [в 3-х ч.]. Ч. 3

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core