Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Electrical properties of titanium nitride films synthesized by reactive magnetron sputtering

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:41:11Z

Аннотация:

Тип: Conference Paper

Источник: SCOPUS17426588-2017-927-1-SID85037685597


Связанные документы (рекомендация CORE)