Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local statement of the problem

Badriev I., Chebakova V., Zheltukhin V.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:24:15Z

Аннотация:

Тип: Conference Paper

Источник: SCOPUS17426588-2017-789-1-SID85014627586

Другие версии документа

Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local statement of the problem

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core