Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Temperature influence on the properties of thin Si₃N₄ films

Zakhvalinskii, V. S., Abakumov, P. V., Piljuk, E. A., Rodriguez, G. V., Goncharov, I. Yu., Taran, S. V.

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:46:52Z

Аннотация:
Ключевые слова:
physics, solid state physics, thin films, nanoscale films, properties, temperature influence, Raman spectroscopy, atomic force microscopy, small-angle X-ray scattering

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core