Описана математическая модель, предназначенная для детального расчета тепловых полей рабочих элементов спиральных вакуумных насосов. Учитывается как влияние тепловыделения сжимаемого газа, так и потери мощности на трение в подшипниках, уплотняющей ленты и т.п. Разработаны и программно реализованы алгоритмы вычисления трехмерных тепловых полей. Приведены результаты расчетов реальных конструкций.