ЧИСЛЕННОЕ РЕШЕНИЕ МОДЕЛИ ФОРМИРОВАНИЯ АМОРФНЫХ И КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

АВЕРИНА Татьяна Александровна; БОНДАРЕВА Анна Леонидовна; ЗМИЕВСКАЯ Галина Ивановна

ЧИСЛЕННОЕ РЕШЕНИЕ МОДЕЛИ ФОРМИРОВАНИЯ АМОРФНЫХ И КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

АВЕРИНА Татьяна Александровна, БОНДАРЕВА Анна Леонидовна, ЗМИЕВСКАЯ Галина Ивановна

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T02:13:30Z

Аннотация:

Кинетическая модель имплантации представлена системой стохастических дифференциальных уравнений в смысле Стратоновича для стохастических динамических переменных (размер кластера, координаты и др.), которые решаются эффективным численным методом, что позволяет анализировать нелинейную стадию фазового превращения, модифицирующего свойства поверхности, сравнить влияние ионных пучков на процессы в твердой и газообразной фазах (на поверхности образца или в его объеме).

Ключевые слова:
Стохастическое моделирование, уравнение Колмогорова, стохастические диф- ференциальные уравнения, ионная имплантация, Stochastic simulation, Kolmogorov equation, stochastic differential equations, ion implantation.

Тип: article

ЧИСЛЕННОЕ РЕШЕНИЕ МОДЕЛИ ФОРМИРОВАНИЯ АМОРФНЫХ И КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация