Влияние технологических режимов формирования на струтуру и свойства покрытий на основе полимеров, осаждаемых из активной газовой фазы (обзор). 2. Влияние условий и режимов процессов, протекающих на поверхности осаждения
Связанные документы (рекомендация CORE)