Аналитическое решение обратной спектрофотометрической задачи для прозрачного слоя на поглощающей подложке

Стаськов, Н.И.

Аналитическое решение обратной спектрофотометрической задачи для прозрачного слоя на поглощающей подложке

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-02T16:59:45Z

Аннотация:

Впервые получено аналитическое и численное решение обратной спектрофотометрической задачи для слоя диоксида кремния на кремниевой подложке. Аналитически определенные параметры слоя и подложки можно использовать в качестве первых приближений при численных расчетах параметров трехслойной модели. Структуру неоднородных поверхностного и переходного слоев интерпретировали моделью Максвелла-Гарнетта и Бруггемана.

Ключевые слова:
интерференционная спектрофотометрия, переходный слой, оптические постоянные, толщина слоя

Тип: Article

Права: open access