Визуализация дефектов отдельной компоненты составного  дифракционного оптического элемента

Авласевич, Н.Т.; Ляликов, А.М.

Визуализация дефектов отдельной компоненты составного дифракционного оптического элемента

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-02T17:02:49Z

Аннотация:

Показана возможность визуализации дефектов отдельной компонентытонкого составного дифракционного оптического элемента, представляющего композицию тонкой подложки и пары совмещенных элементарных решеток. Рассмотрены возможные варианты визуализации дефектов как подложки, таки отдельных элементарных решеток дифракционного оптического элемента с использованием различных интерференционных способов, хорошо развитых в голографической интерферометрии фазовых объектов. Приведены экспериментальные результаты.

Ключевые слова:
дифракционный оптический элемент, дифракционная решетка, световая волна, визуализация де-фекта, интерференционная картина

Тип: Article

Права: open access