Разработка сенсорных систем и исследование новых конструкционых решений, материалов
и технологий для их получения является актуальной задачей. Транзистор с высокой
подвижностью электронов находит все большее применение в таких системах. Выполнено
приборно-технологическое моделирование характеристик транзисторов с высокой
подвижностью электронов, изготовленных на основе AlGaN/GaN с использованием
различных материалов подложки. Исследовано влияние процентного содержания Al и Ga
в соединении AlхGaх-1N на характеристики рассматриваемого прибора.