Материалов:
1 005 021

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Интегральный трехмерный магнитометр на основе датчиков Холла, изготовленный по стандартной КМОП технологии

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:55:00Z

Аннотация:

Представлены результаты приборно-технологического моделирования горизонтальных и вертикальных структур датчика Холла, используемых в качестве элемента интегрального трехмерного магнитометра. Исследованы зависимости напряжения Холла от величины и угла отклонения вектора индукции магнитного поля, а также зависимости чувствительности от температуры. Проведено моделирование из первых принципов соединения халькогенидной шпинели CuCr2Se4, применяемого в качестве материала концентратора магнитного поля. The results of the device simulation of a three-dimensional magnetometer based on Hall sensors integrated in a standard CMOS technology are presented. The Hall voltage vs magnetic field, Hall voltage vs magnetic field deviation angle, and sensitivity vs temperature curves were measured. The first-principles simulation of chalcogenide spinel CuCr2Se4 used in creation of a magnetic field concentrator was performed.

Тип: Article


Связанные документы (рекомендация CORE)