Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Базовые технолог. процессы интегр. схем») для студентов специальностей I-42 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. и дистанц. форм обучения

Родионов, Ю. А.

Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Базовые технолог. процессы интегр. схем») для студентов специальностей I-42 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. и дистанц. форм обучения

Дата публикации: 2007

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:56:33Z

Аннотация:

В методических указаниях обобщены сведения по основным технологическим процессам производства кремниевых дискретных приборов, интегральных схем и МЭМС. Рабочая программа по данной дисциплине дополнена методическими указаниями к ней, приводится перечень лабораторных работ и контрольные задания.

Ключевые слова:
учебно-методические пособия, кремниевые дискретные приборы, МЭМС, интегральные микросхемы

Тип: Book

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация