Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения

Черных, А. Г.; Ригольд, С. В.

Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения

Дата публикации: 2006

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:56:33Z

Аннотация:

Лабораторный практикум позволяет получить представления о технологии изготовления биполярных ИС на ТТЛШ-элементах, КМОП ИС, полупроводниковых оперативных запоминающих устройств (ОЗУ) на n-канальных МОП структурах, СВЧ ИС, БиКМОП ИС, запоминающих элементов электрически стираемых программируемых постоянных запоминающих устройств (ЭСППЗУ), изучить технологические маршруты и контрольные операции после различных этапов изготовления ИС, приобрести практические навыки измерений параметров тестовых структур (ТС) и научиться проводить анализ технологического процесса по результатам измерений тестовых структур (ТС).

Ключевые слова:
учебно-методические пособия, биполярные интегральные схемы, технология проектирования интегральных схем, ТТЛШ-элементы, полупроводниковые устройства, технологические маршруты, интегральные схемы, лабораторные работы

Тип: Book

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация