Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:56:34Z

Аннотация:

Пособие содержит описание восьми лабораторных работ и позволяет получить представления о технологии изготовления широкого класса интегральных микросхем. При выполнении этих работ студенты могут изучить технологические процессы и контрольные операции после различных этапов изготовления интегральных микросхем, получить практические навыки измерений параметров тестовых структур и научиться проводить анализ технологического процесса по результатам этих измерений. Основано на материале по дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем» и «Технологические процессы микроэлектроники» специальностей «Микро-и наноэлектронные технологии и системы» и «Квантовые информационные системы». Может быть полезно при изучении родственных курсов других специальностей.

Тип: Book