В пособии приведено описание физических моделей технологических процессов и приборов микроэлектроники, используемых в современных программных комплексах компьютерного технологического и приборного проектирования.
На приложенном к пособию компакт-диске содержится разработанный авторами программный модуль GUI-SUPREM, предназначенный как для моделирования отдельных технологических операций микроэлектроники, так и для проведения в сети Интернет/Интранет одномерного по пространству проектирования технологического маршрута формирования приборной структуры с использованием программного комплекса SUPREM III.
