Современные тенденции в технологии формирования объемных выводов на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур

Бранцевич, В. К.; Кузьмар, И. И.; Кушнер, Л. К.

Современные тенденции в технологии формирования объемных выводов на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур

Бранцевич, В. К., Кузьмар, И. И., Кушнер, Л. К.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:58:36Z

Аннотация:

Работа носит обзорный характер и посвящена проблеме формирования объемных выводов на кремниевом кристалле на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур.

Ключевые слова:
материалы конференций, кремниевый металл, электрохимически осажденный металл

Тип: Article

Современные тенденции в технологии формирования объемных выводов на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация