Людей нашего мира сегодня ничем не удивишь: очень сложные микроразмерные механические устройства произво-
дятся в промышленных масштабах и окружают человека повсюду – мы просто не можем их увидеть! Пожалуй, самым впечат-
ляющим типом микроструктур, которые создаются людьми, являются MEMS-системы – микроэлектромеханические системы.
