Дата публикации: 2013-05

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:59:18Z

Аннотация:

Рассматривается возможность модификации поверхностных слоев твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе использования эффекта полого катода.

Тип: Article