Reactive ion etching parameters optimization in victory process - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Reactive ion etching parameters optimization in victory process

Дата публикации: 2015-04

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:59:34Z

Аннотация:

Ключевые слова:
материалы конференций, reactive ion, victory process, etching parameters optimization

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)