Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:59:52Z

Аннотация:

Рассматривается структура оборудования автоматического контроля топологии фотошаблонов, а также основные требования к координатным системам перемещений и оптическим системам получения субпискельного разрешения.

Тип: Article