Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:04:55Z

Аннотация:

В результате проделанной работы получены алюмооксидные структуры Al-Al2O3, особенностью которых является значительная высота алюминиевых контактных площадок и проводящих элементов (300…450 мкм); большая толщина анодного оксида алюминия (150…600 мкм) с высокими пробивными напряжениями между контактными площадками (~8 кВ), которые могут быть использованы в мощных электромеханических системах. Исследованы методы высокоскоростного анодирования, локального глубокого анодирования и химического травления, позволяющие добиться получения практически вертикального профиля стенок в системе Al-Al2O3.

Тип: Article