Создание бесшаблонного производства СБИС

Лабунов, В. А.; Баранов, И. Л; Черных, А.Г.

Создание бесшаблонного производства СБИС

Лабунов, В. А., Баранов, И. Л, Черных, А.Г.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:05:15Z

Аннотация:

Производство СБИС с индивидуальной обработкой пластин в вакуумной кластерной системе с использованием бесшаблонной технологии, реализуемой лазерным генератором изображений.

Ключевые слова:
бесшаблонная технология, лазерный генератор, минифабрика, вакуумная кластерная система, материалы конференций

Тип: Article

Создание бесшаблонного производства СБИС

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация