Предварительная   обработка  экспериментальных  данных  в  статистическом  проектировании  изделий  микроэлектроники

Павлов, П. Г.; Чан Туан Чунг; Костров, A. И.; Нелаев, В. В.; Стемпицкий, В. Р.

Предварительная обработка экспериментальных данных в статистическом проектировании изделий микроэлектроники

Павлов, П. Г., Чан Туан Чунг, Костров, A. И., Нелаев, В. В., Стемпицкий, В. Р.

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:05:31Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований по выбору и практической реализации математических методов предварительного анализа и статистической обработки экспериментальных данных, полученных при обработке и интерпретации промышленных измерений результатов формирования элементов интегральных микросхем (ИМС). Предлагаемая методика позволяет исключать аномальные наблюдения в выборочных данных и проводить процедуру сглаживания результатов измерения или моделирования.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, интегральная микросхема, статистический анализ, статистическое распределение, методы сглаживания, критерий случайности, тренд

Тип: Article

Предварительная обработка экспериментальных данных в статистическом проектировании изделий микроэлектроники

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация