Представлены результаты исследования влияния технологических параметров формирования структуры IGBT-прибора на его динамические характеристики. Показано, что быстродействие (время включения и выключения) структуры существенно определяется технологическими параметрами формирования как биполярного транзистора, так и МОП-
транзистора – составляющих элементов IGBT-прибора. Показано, что на быстродействие
прибора не влияет уровень концентрации примеси в эмиттере биполярного транзистора и
проявляется лишь небольшое влияние степени легирования базы. В большей мере динамические характеристики IGBT-структуры определяются дозой и энергией ионов при имплантационном подлегировании области канала МОП-транзистора (при увеличении дозы в 2 раза время включения и выключения снижаются почти на 20 % каждое, а при увеличении
энергии ионов на 20 % длительность выходного импульса увеличивается почти на 25 %).
