Конструктивно-технологическое усовершенствование   диодов Шоттки с МОП канавочной структурой

Котов, В. С.; Голубев, Н. Ф.; Борисенко, В. Е.

Конструктивно-технологическое усовершенствование диодов Шоттки с МОП канавочной структурой

Котов, В. С., Голубев, Н. Ф., Борисенко, В. Е.

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:06:17Z

Аннотация:

Проведено 2D-моделирование и экспериментальное исследование усовершенствованной конструкции и технологии изготовления диодов Шоттки с металл-окисел- полупроводник (МОП) канавочной структурой на кремнии, позволивших упростить технологический процесс на одну фотолитографию и улучшить параметры диодов.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, диод, проектирование, технология, МОП структура, пробивное напряжение, ток утечки

Тип: Article

Конструктивно-технологическое усовершенствование диодов Шоттки с МОП канавочной структурой

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация