Наноструктурные элементы резистивно-емкостных  микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.)

Плиговка, А. Н.; Крупко, А. О.; Попичев, Е. Л.

Наноструктурные элементы резистивно-емкостных микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.)

Плиговка, А. Н., Крупко, А. О., Попичев, Е. Л.

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:06:27Z

Аннотация:

Выбраны и оптимизированы режимы электросинтеза наноструктурных тонких пленок на основе двухслойной системы Al/Ta с требуемыми морфологией, толщиной и структурой. Определено влияние толщин подслоев и напряжений реанодирования на высоту и толщину оксидных островков и танталовой сетки, разработаны механизмы роста островков для разных толщин подслоя тантала.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, анодирование, оксид алюминия, оксид тантала, способ изготовления, конденсатор

Тип: Technical Report

Наноструктурные элементы резистивно-емкостных микрофильтров для устройств синхронизации электронной аппаратуры: отчет о НИР (заключ.)

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация