Золь-гель синтез пленок титаната   стронция и перспективы их применения для изготовления элементов электронной техники

Сохраби Анараки, Х.; Гапоненко, Н. В.; Завадский, С. М.; Руденко, М. В.; Голосов, Д. А.; Колос, В. В.; Петлицкий, А. Н.; Турцевич, А. С.; Колосницын, Б. С.

Золь-гель синтез пленок титаната стронция и перспективы их применения для изготовления элементов электронной техники

Сохраби Анараки, Х., Гапоненко, Н. В., Завадский, С. М., Руденко, М. В., Голосов, Д. А., Колос, В. В., Петлицкий, А. Н., Турцевич, А. С., Колосницын, Б. С.

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:07:05Z

Аннотация:

Золь-гель методом получены пленки титаната стронция на подложках кремния. Фаза титаната стронция зарегистрирована методом рентгенофазового анализа после термообработки при температуре 750–1000 °С. Толщина пленок, полученных методом центрифугирования, изменяется от 90 до 250 нм в зависимости от числа формируемых слоев. Обсуждаются перспективы развития золь-гель метода для формирования пленочных элементов электронной техники, а также варисторов и конденсаторов, на основе ксерогелей SrTiO3.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, золь-гель, титанат стронция, конденсатор, мемристор

Тип: Article

Золь-гель синтез пленок титаната стронция и перспективы их применения для изготовления элементов электронной техники

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация