Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:07:05Z

Аннотация:

Проведены результаты экспериментов по зажиганию тлеющего разряда в вакуумной камере с размещенной на разрядном электроде кремниевой пластиной или без нее в плазмообразующем газе кислород. The results of the experimental investigation of the peculiarities of plasma forming conditions in glow discharge with and without silicon wafer on the potential electrode in the atmosphere of oxygen are presented.

Тип: Article