Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:07:05Z

Аннотация:

Представлены результаты разработки устройства, позволяющего в автоматическом режиме определять оптимальное давление процесса СВЧ плазмохимической обработки материалов. Results of designing a device, which allows automatically detecting optimal pressure for the procedure of microwave material plasma processing, are presented.

Тип: Article