Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:07:23Z

Аннотация:

Разработаны объемно-планарные варианты емкостных МДМ (металл-диэлектрик-металл) структур вертикальной направленности, основанных на высокоорганизованных матрицах свободных мембран пористого оксида алюминия для применения во влагочувствительных элементах. Улучшение чувствительности к влаге, снижение времени отклика и времени восстановления в широком диапазоне измерения относительной влажности были получены благодаря формированию алюмооксидных мембран без барьерного слоя со сквозными и расширенными порами. Такой технологический подход позволил исключить влияние анионов электролита анодирования, встроенных на внешней стороне стенок пор, на механизм адсорбционных и десорбционных процессов влагочувствительных элементов.

Тип: Article