В работе представлены результаты изучения методом атомно-силовой микроскопии (ACM) морфологии покрытий политетрафторэтилена (ПТФЭ) на начальных этапах формирования. Покрытия получали на монокристалле кремния из летучих продуктов электронно-лучевого диспергирования исходного полимера в вакууме. В процессе роста покрытий выявлены структурные образования двух
типов, имеющие фрактальную и нефрактальную природу. Обработка АСМ-изображений показала,
что эти надмолекулярные структуры образуют фрактальный кластер, ионофрактальная и мульти
фрактал ьная размерность которого стремится, соответственно, к значениям 1.51 ± 0.03 и 2.9 ± 0.02.