Increace in the silicon surface adhesion by treatment in atmospheric plasma
Kotov, D. A.,
Kuznetsova, T. A.,
Nikitiuk, S. A.,
Lapitskaya, V. A.,
Melnikova, G. B.,
Chizhik, S. A.,
Zaporojchenko, U. V.,
Yatsevich, E. V.,
Котов, Д. А.,
Никитюк, С. А.
Связанные документы (рекомендация CORE)