Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:08:19Z

Аннотация:

В настоящее время в области высоких технологий широко используется обработка с помощью плазмы и потоками заряженных частиц. Такие технологии позволяют получать, как атомарно чистую поверхность, так и формировать пленочные микро- и наноструктурированные функциональные слои и покрытия с уникальным комплексом физических характеристик для нужд машиностроения, оптики, микроэлектроники и ряда других отраслей науки и техники.

Тип: Статья