Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии

Кукуть, Ю. М.

Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:08:21Z

Аннотация:

Разработан метод получения субмикронных элементов топологии в технологии бесшаблонной лазерной литографии. Метод основан на правилах модификации топологического слоя.

Ключевые слова:
материалы конференций, субмикронные элементы топологии, бесшаблонная лазерная литография

Тип: Статья

Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация