Диэлектрические  характеристики  конденсаторных  структур  на  основе  пленок  титаната  стронция,  сформированных  золь-гель  методом

Сохраби Анараки, Х.; Гапоненко, Н. В.; Руденко, М. В.; Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.; Гук, А. Ф.; Колос, В. В.; Петлицкий, А. Н.; Турцевич, А. С.

Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом

Сохраби Анараки, Х., Гапоненко, Н. В., Руденко, М. В., Завадский, С. М., Голосов, Д. А., Гук, А. Ф., Колос, В. В., Петлицкий, А. Н., Турцевич, А. С.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:08:32Z

Аннотация:

Сформированы тонкопленочные конденсаторы на подложках кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом при температурах отжига 750–800 °С. Нижний электрод сформирован из платины, верхний – из никеля. Средние значения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлекрических потерь лежат в пределах 150–190 и 0,06–0,1 соответственно. Приведены значения среднеквадратического отклонения указанных величин.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, золь-гель, титанат стронция, конденсатор

Тип: Article

Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация