Показано, что характер структурно-фазовых превращений в молибдене при ионной имплантации элементами фазы внедрения определяется в основном по размерному фактору, т. е. отношением атомных размеров внедренных элементов и атомов металла. Исследования проводились на монокристаллах молибдена при имплантации ионами Ar, C, N, O, B, Si, P, S.