Растворение кислорода в германии в процессе выращивания монокристаллов

Подкопаев, О.И.; Кулаковская, Т.В.; Шиманский, А.Ф.; Погодаев, А.М.; Васильева, М.Н.; Podkopaev, Oleg I.; Kulakovskaya, Tatyana V.; Shimanskiy, Aleksandr F.; Pogodaev, Aleksandr M.; Vasilyeva, Mariya N.

Растворение кислорода в германии в процессе выращивания монокристаллов

Подкопаев, О.И., Кулаковская, Т.В., Шиманский, А.Ф., Погодаев, А.М., Васильева, М.Н., Podkopaev, Oleg I., Kulakovskaya, Tatyana V., Shimanskiy, Aleksandr F., Pogodaev, Aleksandr M., Vasilyeva, Mariya N.

Дата публикации: 2012-10

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T17:27:09Z

Аннотация:

Методом ИК-Фурье спектрометрии определено содержание кислорода в монокристаллах германия, выращенных по методу Чохральского. Проведен термодинамический анализ процесса растворения в Ge остаточного кислорода, содержащегося в газовой фазе.

Ключевые слова:
германий, монокристаллы, газовая фаза, концентрация кислорода, расплав, взаимодействие, термодинамический анализ, germanium crystals, gas-phase, oxygen concentration, the melt, interaction, thermodynamic analysis

Тип: Journal Article

Растворение кислорода в германии в процессе выращивания монокристаллов

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация