Материалов:
473 833

Репозиториев:
22

Авторов:
311 822

Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:20:30Z

Тип: статьи в сборниках

Источник: Материалы 56-й Международной научной студенческой конференции МНСК-2018, 22-27 апреля 2018 г. Квантовая физика. Новосибирск, 2018. С. 9


Связанные документы (рекомендация CORE)