Изменение электрических свойств эпитаксиальных пленок КРТ после воздействия высокочастотного наносекундного объемного разряда в воздухе атмосферного давления

Ермаченков, Павел Андреевич

Изменение электрических свойств эпитаксиальных пленок КРТ после воздействия высокочастотного наносекундного объемного разряда в воздухе атмосферного давления

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:22:54Z

Ключевые слова:
полупроводниковые эпитаксиальные пленки, объемные наносекундные разряды, молекулярно-лучевая эпитаксия, электрофизические свойства пленок, Холла коэффициент

Тип: статьи в сборниках

Источник: Труды Пятнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-19 мая 2018 г.. Томск, 2018. С. 231-234

Изменение электрических свойств эпитаксиальных пленок КРТ после воздействия высокочастотного наносекундного объемного разряда в воздухе атмосферного давления

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация